陈南翔做序！朱贻玮：中国集成电财产60年成长过

　　中国集成电60年，是一部从无到有、从逃逐到并跑的奋斗史诗。从晚期研究所的起步，到“南北两霸”引领出产，从手艺引进、中外合伙的代工转型，到国度大基金鞭策自从立异——这条充满坎坷，很多名字已随时代远去，却铸就了今天不克不及撤退退却的“芯”征程。两岸财产互动共生，老一辈书写汗青，新一代接偏激炬。芯片虽小，事关国运；唯有自强，方有将来。这段“芯”，仍正在脚下。从中国多家研究单元研制出集成电的1965年到2025年，中国集成电财产的成长整整历经了60年！无独有偶，2025年也是中国半导体行业协会成立35周年之际！正在过去的60年中，中国集成电财产履历了无数坎坷，履历了几代人的勤奋，实现了从无到有、从有到全，现正在曾经进入从全到优的环节阶段。回首60年的过程，中国集成电财产履历了“巴统禁运下的打算经济时代”、“的市场经济时代”、“全球化成长的时代”以及当今的“自立自强时代”。以上过程看起来是集成电财产成长的业内之事，现实上则反映出了我国成长工业和国平易近经济一个大时代的脉络，更反映出了国际关系的演变。朱贻玮先生是我的长辈，以88岁高龄完成了《中国集成电财产60年成长过程取回首》一书。细心想来，朱贻玮先生可能是国内最有资历和最有能力写这本书的人了。他自1963年大学无线电系半导体专业结业后，就进入电子财产界，切身履历、切身参取、切身了上述所有集成电财产成长的大时代。书中记实的一些企业，已经正在我国集成电财产成长历程及第脚轻沉、叱咤风云，现在却消逝正在汗青的长河中！阅读本书，汗青的画面仿佛沉现正在面前，让人不由感慨岁月的制化！我相信这是本书最为宝贵的处所：它实正在地记实了这些已经的存正在，为了永不会忘记的回忆。自中国半导体行业协会成立的1990年到2025年，中国半导体财产历经35周年成长，曾经从当初接近6亿人平易近币的产值，成长到2024年的1。44万亿人平易近币财产规模。毫无疑问地讲，现在的集成电财产曾经坐到中美科技之争的最前沿。除了自立自强，我们曾经没有任何退可退。恰逢此时，朱贻玮先生的《中国集成电财产60年成长过程取回首》大功乐成。我相信，此书将会是中国集成电财产人的传承，我们这一代财产人不只要晓得财产的将来正在哪里，更要晓得我们财产从哪里来，以及已经走过的！2。 工业出产初步构成（878厂和上海无线。 摸索冲破量产路子（爱卡、兴华和华科）10。 公司来建厂（姑苏和舰、宁波中纬、上海台积电松江、厦门联芯、合肥晶合、台积电南京、泉州晋华）12。 国度大基金注入国度团队大企业（上海中芯国际、上海华虹─宏力─华力、武汉长江存储）1947年美国贝尔尝试室发现半导体点接触晶体管，1949年研制出锗合金晶体管。中国科学院使用物理所也于1956年研制出锗合金晶体管。1954年美国研制出硅合金晶体管。就正在1958年，美国得克萨斯仪器公司和仙童公司别离研制成半导体单块集成电。1959年美国发现平面光刻手艺，研制成功平面型扩散晶体管（简称“平面管”）。1960年美国采用平面手艺研制成集成电，从此能够大量出产的道。十三所于1962年、中国科学院半导体所也于1963年研制成平面管，同时有多家单元也正在研制平面管。紧接着，中国多家研究单元于1965年别离研制出集成电，有中国科学院半导体研究所、半导体研究所（简称十三所）、市无线电器件研究所（简称沙河器件所）、中国科学院156工程处等。而正在1965年12月份，十三所起首正在产物判定会上判定了一种采用介质隔离的单片DTL型数字电，从此起头中国集成电财产成长历程。正在研究单元之后，工场正在出产平面型晶体管的根本上也自行研制集成电。北方为电子管厂（774厂），南方为上海元件五厂，判定了一种采用国际上通用的PN结隔离手艺的TTL型数字电。由此看出，正在上世纪五、六十年代，正在半导体晶体管、平面管和集成电起步阶段，中国距美国只要3～7年时间差距，相差并不是很远。为了加快成长集成电，四机部决定扶植3家集成电专业化工场，此中878厂建正在，由774厂抽人筹建，正在无线电工业学校内合做建厂。1968年起头扶植，到1970年建成投产。878厂于1978年建成中国第一条2英寸线年。取此同时，上海仪表局决定将上海元件五厂五车间搬家到漕河泾建上海无线厂）。不久，正在市和上海市接踵建起了一批集成电工场，有市半导体器件二厂、三厂、五厂和上无七厂、上无14厂等。并且各地也纷纷建厂、或正在原厂内建集成电车间，例如常州半导体厂、姑苏半导体厂、天津半导体器件一厂、贵州873厂和4433厂、甘肃749厂和871厂、777厂等。加上各部分一些单元也上集成电，中国科学院早就正在成立了109厂，还有一机部机械从动化所和地质部地质仪器厂，外埠有五机部蚌埠214所、七机部临潼771所和西安691厂等。高潮最高时，全国有33个单元引进24条3英寸出产线设备，可是大大都为二手设备。其时处于低程度的反复引进，最初建成投产的只要6～7条线英寸线厂及其绍兴分厂、七机部临潼771所、常州半导体厂等。上世纪70年代，正在打算经济下，南方上无19厂和北方878厂号称“南北两霸”，全国集成电工业出产初步构成，自给自足地出产各类小规模集成电（包罗数字电和线性电）供应各工业部分和科学院各研究所研制和出产各类电子零件利用，包罗工业使用和国防军工需求。全国各地集成电工场和研究所的芯片线虽然不少，但所采用的硅圆片尺寸都较小，起头都曲直径十几毫米犯警则圆片。第一条2英寸和3英寸线英寸线投产，此中影响较大的有陕西临潼771所、甘肃871厂及其正在绍兴的分厂和常州半导体厂。但月产量都很小，只要几百片，最多上千片。为了冲破4英寸硅片出产线和提高月产片量，通过分歧渠道操纵国际商业港的劣势，正在大埔成立了3家公司：爱卡、兴华和华科，各自建成了4英寸芯片出产线。起首由华科公司出产消费类电产物时冲破月产20000片的程度，另两家公司月产量也正在10000片以上。为此，其时全国半导体行业协会正在南京召开会员大会时，邀请华科公司代表到会上做了典型讲话引见月产20000片的经验，以此推进各厂提高本人的产片量。正在国度于1978岁暮转入时代之后，我国集成电财产由自给自足阶段转向手艺引进阶段。第一个全面引进项目是无锡742厂（江南无线电器材厂）为电视机配套公用双极型模仿电，从日本东芝公司引进完整的3英寸芯片出产线，从拉单晶起头，包罗制版、3英寸硅圆片加工和封拆测试。1984年达产，月投10000片3英寸片，成品年产量达3000万块，成为其时中国手艺最先辈、规模最大、配套最全、IDM（集成器件制制）模式的专业化工场。这是中国集成电业内第一次从国外全面引进手艺的项目，前工序为5微米双极型模仿电工艺，后工序为DIP型（双列曲插式）塑料封拆线厂改为华晶公司后，又从西门子公司和日本东芝公司引进2～3微米MOS型数字电工艺4英寸和5英寸芯片出产线片，以及包罗DIP型、QFP型、SOP型和PLCC型塑料封拆线厂正在浙江绍兴设立窗口后，成立871分厂，后又更名为华越。先后自行扶植3英寸和4英寸二手设备芯片出产线年代又从日本富士通公司引进一条完整的5英寸芯片出产线微米双极型数字电工艺手艺。5。转入中外合伙阶段（上海贝岭、上海飞利浦─先辈、首钢日电）正在国度的海潮下，上海集成电企业起头摸索中外合伙的模式。起首是搞CMOS工艺的上无14厂正在漕河泾扶植新厂过程中，取比利时洽商合伙。其时国度正正在上程控互换机扩大德律风范畴。为正在上海成立的合伙企业上海贝尔德律风设备公司配套程控互换机公用集成电，上海贝岭公司就应运而生。贝岭公司正在1988年建成中国第一条4英寸芯片出产线微米MOS电工艺，起首出产程控互换机所用9种LSI（大规模集成）电，后来又引进1。2微米CMOS电工艺。它曾创制中国半导体工场中最好的经济效益，又是国内头一家上市的微电子制制企业。紧随其后，由上海元件五厂、上无七厂和上无19厂取荷兰飞利浦公司洽商合伙，成立了上海飞利浦半导体公司。也正在漕河泾于1992年建成中国第一条5英寸芯片出产线微米双极型模仿电工艺。它本身没有产物，建成后初期次要为国际性的飞利浦公司加工，能够说是中国第一条Foundry线，只是为其他设想公司和产物公司代工是后来逐步构成的。后来又正在首钢日电之后建了一条6英寸MOS工艺线。公司后来更名为上海先辈半导体公司。首都钢铁公司（简称首钢）为了拓展营业范畴，正在地域4家集成电单元（两厂一所一公司：878厂、市半导体器件二厂、沙河器件所和燕东公司）的帮帮下取日本电气公司颠末构和决定合伙成立首钢日电公司，成果于1994年10月正在建成中国第一条6英寸芯片出产线年发卖额达9。1亿元，利润2。7亿元，创中国境内微电子财产最高年停业额的记实。原打算70％内销，有设想部，但成果持久次要出产日本电气公司的产物。1989年8月8日成立中国华晶电子集团公司（简称华晶公司），它是由无锡742厂和24所无锡分所（由四川永川24所MOS部搬家而来）归并而成。其时中国电子报辟出专栏会商：中国集成电何处去？正在专家、传授、工场带领和从管官员普遍颁发文章会商之后，机械电子工业部于1990年2月从各单元抽调人员集中编写1微米集成电项目材料，于昔时8月份立项，定名为“908工程”。江苏、浙江、山东、上海各地都积极争取，最初部里决定1微米6英寸芯片出产线扶植仍是放正在江苏无锡，由刚成立不久的华晶集团公司承担扶植。可是因为项目审批和资金到位缘由，曲到1997岁尾才建成，前后历时8年之久。华晶公司从美国朗讯公司引进一条6英寸芯片出产线月才通过对外合同验收。本来是起步最早的6英寸线，成果正在首钢日电和上海飞利浦之后，成为第6英寸线。•909工程：1993年3月国度决定将原机械电子工业部门隔，成立新的电子工业部，录用为部长。鉴于我国集成电财产严沉畅后的情况，1995年电子工业部向国务院提出了《关于“九五”期间加速集成电财产成长的演讲》， 昔时12月地方经济工做会议分组会上，部长做了关于《成长我国集成电财产是沉中之沉》的专题讲话。由此，909工程应运而生，决定实施909工程──正在上海浦东扶植一条8英寸0。5微米集成电芯片出产线。国务院决定由部长间接兼任董事长。由电子工业部和上海市人平易近配合成立“909工程项目推进委员会”。1996年11月27日上海华虹微电子无限公司超大规模集成电芯片出产线奠定典礼正在浦东新区金桥隆沉举行。909工程是中国电子工业投资最大的工程，预备投资100亿元扶植一条8英寸0。5微米CMOS工艺芯片大出产线。颠末多方构和，最初仍是取日本电气公司（NEC）构和成功，合伙成立华虹NEC公司。初期注册7亿美元，中方出资5亿美元，日方出资2亿美元。1999年2月23日909工程超大规模集成电芯片出产线建成正式投片。这是中国第一条8英寸芯片出产线片，达到国际上规模经济程度，工艺为0。24微米的CMOS工艺手艺，出产64 MB DRAM动态随机存取存储器产物。909工程胜利完成扶植使命。以前中国集成电企业和国外公司一样，采用IDM模式，即集成制制模式，从电设想、芯片制制到封拆测试都由本人完成。1987年成立积体电公司（简称台积电），提出Foundry（代工）模式，本人不搞设想，只做晶圆制制加工，接管设想公司或产物公司委托加工，还有封拆测试公司。如许就构成设想业、芯片制制业和封拆测试业三业并举的场合排场。中国集成电企业最早采用代工模式的是上海飞利浦公司，如前所述，起头次要为飞利浦公司加工，本人不做设想，后来更名为上海先辈公司后加大为国外其他公司加工的比例，并逐步添加为国内设想公司加工的比例。纯粹的加工模式是正在无锡起首实现的。华晶公司通过908工程引进一条1微米6英寸CMOS工艺线英寸MOS线，因为缺乏有市场的产物出产，MOS事业部多年吃亏形成企业吃亏欠债运转。正在半导体界人士于1997年5月底赴台加入海峡两岸半导体后，半导体界代表回访时赴无锡调查了华晶公司。然后两边颠末近半年多次构和，最终告竣合做和谈，由海外华人半导体人士构成上华半导体公司，以“来料加工，委托办理”的模式来运营华晶公司MOS事业部5英寸和6英寸线，从而由IDM模式改变成为国表里设想公司和产物公司办事的中性、纯粹的Foundry线月起头施行。从此实正起头了中国的Foundry时代。两边颠末合做、“软”合伙，最初构成无锡华晶上华合伙公司，产量逐年提拔。最后时，中国可供联系的IC设想单元仅为68家，包罗公司、大学、研究所和零件单元的设想部分。颠末两年时间，国内客户的比例就已上升到70％以上。因为代工企业呈现并不竭提高产量，带动愈来愈多的设想公司成立，设想公司像雨后春笋般地呈现正在全国各地，次要集中正在、上海和深圳三个城市。然而，正在研究所方面，有永川24所无锡分所改为华晶公司地方研究所及之后又改为58所，以及上海冶金所都正在上海飞利浦公司和华晶上华公司之前就部门采用代工模式，只是规模不大。