上海睿昇半导体申请晶圆搬使用机械手臂加工方

　　专利摘要显示，本发现供给一种晶圆搬使用机械手臂的加工方式，所述加工方式包罗：将机械加工后的所述机械手臂置于模具中，盖上盖板并紧固，所述加工方式能够将机械手臂的平面度降至晶圆制制所需平面度以下，且操做简单，合用于工业化出产。

　　国度学问产权局消息显示，上海睿昇半导体科技无限公司申请一项名为“一种晶圆搬使用机械手臂的加工方式”的专利，公开号CN121294816A！